晶圓硅片超聲波清洗機(jī)合作案例
設(shè)備名稱：五槽全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)
清洗工件：晶圓
清洗工藝：上料→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波漂洗→超聲波漂洗→熱風(fēng)烘干→下料
本設(shè)備(半導(dǎo)體全自動(dòng)晶圓超聲波清洗機(jī))主要由PLC控制系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、熱風(fēng)烘干系統(tǒng)、單臂機(jī)械手系統(tǒng)、上下料臺(tái)等構(gòu)成。
合作企業(yè)是一家從事碳化硅單晶材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的企業(yè)，主營(yíng)產(chǎn)品有N型碳化硅襯底、半絕緣型碳化硅襯底、碳化硅晶體。作為首次合作的客戶，南砂晶圓在眾多超聲波清洗機(jī)廠家中選擇潔盟，這無(wú)疑是對(duì)潔盟實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量及服務(wù)能力最好的證明。我們真誠(chéng)地期望通過(guò)此次的合作，進(jìn)一步增加彼此的了解和友誼，后續(xù)在更廣的領(lǐng)域開(kāi)展合作，實(shí)現(xiàn)共同發(fā)展。
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